説明
GaN Epitaxy 6"/8" Bridge tool Min. surface needed: 7113mm x 3665mm including maintenance area構成
Maximum ventilation limit a. N2 b. H2 300slm c. NH3 100 slm d. Space e. SiH4 / H2 ≤ 2% 5slm f. Space g. C2H4 5 slm h. Cl2 3slm i. N2 tech j. Ar Cooling System drawing à Continuous flow of cooling water required, the installation of an emergency cooling circuit is strongly recommended. Operating pressure inside system: max. 6bargOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
AIXTRON
AIX G5+
カテゴリ
MOCVD
最終検証： 13日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
146871
ウェーハサイズ：
6"/150mm, 8"/200mm
ヴィンテージ：
2021
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
GaN Epitaxy 6"/8" Bridge tool Min. surface needed: 7113mm x 3665mm including maintenance area構成
Maximum ventilation limit a. N2 b. H2 300slm c. NH3 100 slm d. Space e. SiH4 / H2 ≤ 2% 5slm f. Space g. C2H4 5 slm h. Cl2 3slm i. N2 tech j. Ar Cooling System drawing à Continuous flow of cooling water required, the installation of an emergency cooling circuit is strongly recommended. Operating pressure inside system: max. 6bargOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし