説明
MOCVD system Details Attached構成
Ovens added to bubblers and heated gas lines Al sources (QTY 3) Ga source Heated Sc sources (QTY 2) Custom heated lines for Sc Trumpf generator for heater Cleansorb CS200FS Cl scrubber NEL C30 H2 generatorOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
AIXTRON
AIX G5+
カテゴリ
MOCVD
最終検証： 3日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Idle
製品ID：
151780
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
2017
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available