説明
MOCVD System構成
Wafer size: 6” (but can be set to any wafer size) Config/Gases: AsH3 PH3 N2 H2, 8 Bubbler Slices All gas lines purgedOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
VEECO
K475
カテゴリ
MOCVD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Idle
製品ID：
128854
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
MOCVD System構成
Wafer size: 6” (but can be set to any wafer size) Config/Gases: AsH3 PH3 N2 H2, 8 Bubbler Slices All gas lines purgedOEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし