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SAMCO PD-3800LT
    説明
    説明なし
    構成
    Form : Load lock Type (Large tray transfer) Substrate Size : 3 ""6"" Wafer (trays : φ 360 Al ) Configuration : Reaction chamber (SUS304 φ 495) Transfer chamber (SUS304 800 x 780) Electrodes : φ 420 mm (aluminum) / Top & Bottom Heating : Stage Heating 300°C Power supply : RF 500 W 13.56MHz Process Gas : 6 systems (SiH4, N2O, CF4, CoF2…) Transfer Robot : Articulated Arm Vacuum Robots (JEL) Vacuum Pump : Dry Pump HR60 (ULVAC) Control system : sequencer Operating inputs : touch panel Recipe : Max. 15 recipes or more
    OEMモデルの説明
    提供なし
    ドキュメント

    ドキュメントなし

    SAMCO

    PD-3800LT

    verified-listing-icon

    検証済み

    カテゴリ

    PECVD
    最終検証： 60日以上前
    主なアイテムの詳細
    状態：

    Used

    稼働ステータス:

    不明

    製品ID：

    26000

    ウェーハサイズ：

    不明

    ヴィンテージ：

    2011

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    Logistics Support
    Available
    Money Back Guarantee
    Available
    Transaction Insured by Moov
    Available
    Refurbishment Services
    Available
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    SAMCO PD-3800LT
    SAMCOPD-3800LTPECVD
    ヴィンテージ： 2011状態： 中古
    最終確認60日以上前

    SAMCO

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