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The 2800 RTP system is the STEAG Semiconductor Division's workhorse for mainstream applications. Over 500 have been installed worldwide. Applications include silicide/barrier formation, BPSG reflow and densification, shallow junction formation, thin gate dielectrics, thermal donor annihilation and multilayer annealing.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
RTP/RTA
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Deinstalled / Palletized
製品ID：
114707
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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MATTSON / STEAG / AST
2800
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最終検証： 60日以上前
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The 2800 RTP system is the STEAG Semiconductor Division's workhorse for mainstream applications. Over 500 have been installed worldwide. Applications include silicide/barrier formation, BPSG reflow and densification, shallow junction formation, thin gate dielectrics, thermal donor annihilation and multilayer annealing.ドキュメント
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