説明
RTP構成
構成なしOEMモデルの説明
The 2800 RTP system is the STEAG Semiconductor Division's workhorse for mainstream applications. Over 500 have been installed worldwide. Applications include silicide/barrier formation, BPSG reflow and densification, shallow junction formation, thin gate dielectrics, thermal donor annihilation and multilayer annealing.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
RTP/RTA
最終検証： 今日
主なアイテムの詳細
状態：
Refurbished
稼働ステータス:
不明
製品ID：
138034
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2003
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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MATTSON / STEAG / AST
2800
カテゴリ
RTP/RTA
最終検証： 今日
主なアイテムの詳細
状態：
Refurbished
稼働ステータス:
不明
製品ID：
138034
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
2003
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
RTP構成
構成なしOEMモデルの説明
The 2800 RTP system is the STEAG Semiconductor Division's workhorse for mainstream applications. Over 500 have been installed worldwide. Applications include silicide/barrier formation, BPSG reflow and densification, shallow junction formation, thin gate dielectrics, thermal donor annihilation and multilayer annealing.ドキュメント
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