
説明
Function: Exposure machine Structure: Modular CD 0.11構成
構成なしOEMモデルの説明
This ASML step and scan tool supports 8" / 200m process nodes. The ASML 5500/1100B lithography system uses ASML's patented Athena wafer alignment system. The stepper is equipped with a 193 nm ArF laser and 0.75 NA and is capable of sub 100nm resolution. Applications for the ASML 5500/1100B include the fabrication of photonic ICs.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証: 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
123817
ウェーハサイズ:
不明
ヴィンテージ:
2001
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
ASML
PAS 5500/1100B
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証: 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態:
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID:
123817
ウェーハサイズ:
不明
ヴィンテージ:
2001
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Function: Exposure machine Structure: Modular CD 0.11構成
構成なしOEMモデルの説明
This ASML step and scan tool supports 8" / 200m process nodes. The ASML 5500/1100B lithography system uses ASML's patented Athena wafer alignment system. The stepper is equipped with a 193 nm ArF laser and 0.75 NA and is capable of sub 100nm resolution. Applications for the ASML 5500/1100B include the fabrication of photonic ICs.ドキュメント
ドキュメントなし