説明
説明なし構成
構成なしOEMモデルの説明
The NSR-2205i11C is equipped with a resolution of 450nm or better and features a numerical aperture (NA) of 0.57. It utilizes an i-line (365nm) exposure light source and has a reduction ratio of 1:5. The exposure field ranges from a 22mm square to 17.9(H) x 25.2(V)mm. The alignment accuracy, using the EGA method, is 70nm or better. The system comes with the LSA alignment system as standard and offers the optional FIA and LIA alignment systems.ドキュメント
ドキュメントなし
NIKON
NSR-2205i11C
検証済み
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Parts Tool
稼働ステータス:
不明
製品ID：
67594
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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NSR-2205i11C
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The NSR-2205i11C is equipped with a resolution of 450nm or better and features a numerical aperture (NA) of 0.57. It utilizes an i-line (365nm) exposure light source and has a reduction ratio of 1:5. The exposure field ranges from a 22mm square to 17.9(H) x 25.2(V)mm. The alignment accuracy, using the EGA method, is 70nm or better. The system comes with the LSA alignment system as standard and offers the optional FIA and LIA alignment systems.ドキュメント
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