説明
6" wafer. Automatic wafer loader. 25 wafer cassette. In-line loading構成
構成なしOEMモデルの説明
"This i-line stepper from Nikon is one of our most popular lithography systems. Resolution ≦ 350 nm, exposure light source i-line (365 nm wavelength), reduction ratio 1:5, exposure field 22mm square to 17.9 (H) × 25.2 (V) mm (6-inch reticle), 20.0 × 20.4 mm (5-inch reticle), alignment accuracy (EGA, |M| + 3σ) ≦ 55 nm. The NIKON NSR 2205 i12D is a Steppers and Scanners system. The NSR 2205 i12D can be used with 8” wafer sizes.ドキュメント
ドキュメントなし
NIKON
NSR-2205i12D
検証済み
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 30日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
115968
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
1997
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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NSR-2205i12D
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最終検証： 30日以上前
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不明
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6"/150mm
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"This i-line stepper from Nikon is one of our most popular lithography systems. Resolution ≦ 350 nm, exposure light source i-line (365 nm wavelength), reduction ratio 1:5, exposure field 22mm square to 17.9 (H) × 25.2 (V) mm (6-inch reticle), 20.0 × 20.4 mm (5-inch reticle), alignment accuracy (EGA, |M| + 3σ) ≦ 55 nm. The NIKON NSR 2205 i12D is a Steppers and Scanners system. The NSR 2205 i12D can be used with 8” wafer sizes.ドキュメント
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