説明
OMEGA fxP 4x Synapse chambers in 6” configuration, but they can be converted to 8” with minor effort Gas table:: SF6 H2 CHF3 CF4 and C4F8 He O2 and 4x ICP chambers: in 6” configuration, but they can be converted to 8”構成
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EQUIPMENT
カテゴリ
Support Equipment
最終検証： 17日前
主なアイテムの詳細
状態：
Parts Tool
稼働ステータス:
不明
製品ID：
147450
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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OMEGA fxP 4x Synapse chambers in 6” configuration, but they can be converted to 8” with minor effort Gas table:: SF6 H2 CHF3 CF4 and C4F8 He O2 and 4x ICP chambers: in 6” configuration, but they can be converted to 8”構成
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