説明
Implant構成
FUSIONOEMモデルの説明
The Fusion 200PCU PoLo is a product from Axcelis Technologies that offers a cost-effective single chamber solution for processing 125-200mm wafers. It features a rapid, one-step UV Bake™ Process that replaces the standard resist hardbake, allowing for higher process margins and increased consistency within dry etch and ion implantation sequences. This makes it a valuable tool for improving the efficiency and effectiveness of semiconductor manufacturing processes.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
UV-Curing
最終検証： 9日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
138134
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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AXCELIS / FUSION
200 PCU
カテゴリ
UV-Curing
最終検証： 9日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
138134
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Implant構成
FUSIONOEMモデルの説明
The Fusion 200PCU PoLo is a product from Axcelis Technologies that offers a cost-effective single chamber solution for processing 125-200mm wafers. It features a rapid, one-step UV Bake™ Process that replaces the standard resist hardbake, allowing for higher process margins and increased consistency within dry etch and ion implantation sequences. This makes it a valuable tool for improving the efficiency and effectiveness of semiconductor manufacturing processes.ドキュメント
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