説明
PL Mapping構成
構成なしOEMモデルの説明
The SiPHER is a fully automated photoluminescence metrology system for the detection and mapping of 300mm substrate defects and metallic contamination. SiPHER detects and quantifies near surface and bulk metallic contamination in both bulk silicon and silicon epitaxial layers.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
Wet Processing / Wafer Cleaning
最終検証： 7日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
145788
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2000
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
ONTO / NANOMETRICS / ACCENT / BIO-RAD
SiPHER
カテゴリ
Wet Processing / Wafer Cleaning
最終検証： 7日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
145788
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2000
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
PL Mapping構成
構成なしOEMモデルの説明
The SiPHER is a fully automated photoluminescence metrology system for the detection and mapping of 300mm substrate defects and metallic contamination. SiPHER detects and quantifies near surface and bulk metallic contamination in both bulk silicon and silicon epitaxial layers.ドキュメント
ドキュメントなし