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20 (automatic operation) (6-inch wafer, 5-point measurement) wafer sizes: 5, 6, 8ドキュメント
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HITACHI
S-8820
カテゴリ
CD-SEM
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Installed / Running
製品ID：
131871
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
1996
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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