説明
説明なし構成
Software Version Standard CIM SECS GEM Process EBARA/F-REX-300/CMP TUNGSTEN Main System Main Tool 1 OK Handler System Standard 1 OK Factory Interface FOUP 4 OKOEMモデルの説明
This 300mm CPM system uses EBARA’s Dry-In/ Dry-Out processing and two-head/ two platen design for maximum operation flexibility. Features include 3-step cleaning, 4 FOUP loading ports, and buff stations.ドキュメント
ドキュメントなし
EBARA
F-REX300
検証済み
カテゴリ
CMP
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
105057
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2010
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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EBARA
F-REX300
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CMP
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
105057
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
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Software Version Standard CIM SECS GEM Process EBARA/F-REX-300/CMP TUNGSTEN Main System Main Tool 1 OK Handler System Standard 1 OK Factory Interface FOUP 4 OKOEMモデルの説明
This 300mm CPM system uses EBARA’s Dry-In/ Dry-Out processing and two-head/ two platen design for maximum operation flexibility. Features include 3-step cleaning, 4 FOUP loading ports, and buff stations.ドキュメント
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