説明
-Tool is complete and software boots -Measurement, Board functionality -Laser inoperative構成
構成なしOEMモデルの説明
The Surfscan 6420 detects submicron defects on metal films and rough surfaces but still provides sensitivity down to 0.1 micron on polished silicon. It is effective for detecting defects on non-uniform films, a critical requirement for CMP applications.ドキュメント
ドキュメントなし
KLA
SURFSCAN 6420
検証済み
カテゴリ
Defect Inspection
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
Deinstalled / Crated
製品ID：
68904
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
1997
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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SURFSCAN 6420
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Used
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Deinstalled / Crated
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不明
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The Surfscan 6420 detects submicron defects on metal films and rough surfaces but still provides sensitivity down to 0.1 micron on polished silicon. It is effective for detecting defects on non-uniform films, a critical requirement for CMP applications.ドキュメント
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