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The Surfscan 6420 detects submicron defects on metal films and rough surfaces but still provides sensitivity down to 0.1 micron on polished silicon. It is effective for detecting defects on non-uniform films, a critical requirement for CMP applications.ドキュメント
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検証済み
カテゴリ
Defect Inspection
最終検証： 今日
Buyer pays 12% premium of final sale price
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
124118
ウェーハサイズ：
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ヴィンテージ：
1996
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Logistics Support
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Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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SURFSCAN 6420
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不明
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The Surfscan 6420 detects submicron defects on metal films and rough surfaces but still provides sensitivity down to 0.1 micron on polished silicon. It is effective for detecting defects on non-uniform films, a critical requirement for CMP applications.ドキュメント
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