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In late 1993, KLA introduced the new 2131 model for all pattern inspection which operates at up to twice the speed of the KLA 2130 and with higher sensitivity.ドキュメント
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KLA
2131
カテゴリ
Defect Inspection
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
111658
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
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