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TEL / TOKYO ELECTRON ALPHA(α)-303i
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    主なアイテムの詳細

    状態:Used

    稼働ステータス:

    製品ID:70655

    ウェーハサイズ:12"/300mm

    ヴィンテージ:2004

    説明

    説明はありません

    構成

    Process: TEOS

    ドキュメント
    OEMモデルの説明

    The Alpha-303i is a 300mm production tool developed by Tokyo Electron. It is the result of years of research and development, with TEL having completed their 300mm batch furnace prototype in 1995. Since then, TEL has delivered numerous atmospheric and LP CVD systems to multiple customer sites and consortia worldwide. The Alpha-303i includes key features such as a 100 product wafer load size, a high-speed multiple-wafer loading system with optical notch alignment, and a Front-Opening Unified Pod (FOUP) interface that is configurable for overhead transfer systems (OHT) and personal guided vehicles (PGV). Additionally, boat rotation is standard on all processes, and a Fast Thermal Processing System (FTP) is available for both atmospheric and CVD systems. This tool reinforces TEL’s commitment to being production ready for the 300mm era of semiconductor manufacturing.

    利用可能なサービス

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