説明
2 chamber DPS Metal, 2chamber ASP+, 2 Orienter/degas構成
2 chamber DPS Metal, 2chamber ASP+, 2 Orienter/degasOEMモデルの説明
Two new etch systems were launched in 1996 for HDP etching of metal and silicon films, using AMAT's DPS (Decoupled Plasma Source) technology. The DPS Metal Etch Centura and DPS Silicon Etch Centura are aimed at very advanced applications, primarily for deep submicron devices (0.25-micron).ドキュメント
ドキュメントなし
APPLIED MATERIALS (AMAT)
CENTURA METAL DPS
検証済み
カテゴリ
Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
105384
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2000
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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CENTURA METAL DPS
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Dry / Plasma Etch
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
105384
ウェーハサイズ：
8"/200mm
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2 chamber DPS Metal, 2chamber ASP+, 2 Orienter/degas構成
2 chamber DPS Metal, 2chamber ASP+, 2 Orienter/degasOEMモデルの説明
Two new etch systems were launched in 1996 for HDP etching of metal and silicon films, using AMAT's DPS (Decoupled Plasma Source) technology. The DPS Metal Etch Centura and DPS Silicon Etch Centura are aimed at very advanced applications, primarily for deep submicron devices (0.25-micron).ドキュメント
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