説明
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Currently Configured for 300mm Wafer Size Can be config for 200mm SMIF x 2 as option Handler: 300mm Dual FOUP Robot: Brooks PRI ATM407 Chuck Type: 300mm VacuumOEMモデルの説明
The Archer 10XT is an Automated Optical Overlay Metrology product that enables control of overlay error budget for sub-90-nm production. It provides a significant increase in throughput, precision, and TIS variability over previous generation systems. The system is user-friendly and has a competitive cost-of-ownership for 300-mm manufacturing at the sub-90-nm node. It integrates with KLA-Tencor’s software management products to provide comprehensive optical overlay metrology process control.ドキュメント
検証済み
カテゴリ
Overlay
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Refurbished
稼働ステータス:
不明
製品ID：
77166
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
KLA
ARCHER 10 XT
カテゴリ
Overlay
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Refurbished
稼働ステータス:
不明
製品ID：
77166
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available