説明
説明なし構成
10-3KLA_A600_IBOREG_01OEMモデルの説明
To help achieve sub-3nm overlay error for advanced logic and memory devices KLA introduced the Archer 600 imaging-based overlay metrology system. New optics in combination with innovative ProAIM targets deliver better resilience to process variations and improved correlation between measurement target and actual device pattern overlay errors, producing more accurate overlay measurements.ドキュメント
ドキュメントなし
検証済み
カテゴリ
Overlay
最終検証： 16日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
149556
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
KLA
ARCHER 600
カテゴリ
Overlay
最終検証： 16日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
149556
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
説明なし構成
10-3KLA_A600_IBOREG_01OEMモデルの説明
To help achieve sub-3nm overlay error for advanced logic and memory devices KLA introduced the Archer 600 imaging-based overlay metrology system. New optics in combination with innovative ProAIM targets deliver better resilience to process variations and improved correlation between measurement target and actual device pattern overlay errors, producing more accurate overlay measurements.ドキュメント
ドキュメントなし