説明
PECVD構成
[Chamber A] Process: P-TEOS Hard: CVD Gas(sccm): Ar(7000), Ar(500), He(2000), N2(5000), NF3(3000), O2(3000), TEOS(300) RPU: 400kHz/3000W HRF: 13.56MHz/1000W LRF: 430kHz/1000W [Chamber B] Process: P-TEOS Hard: CVD Gas(sccm): Ar(7000), Ar(500), He(2000), N2(5000), NF3(3000), O2(3000), TEOS(300) RPU: 400kHz/3000W HRF: 13.56MHz/1000W LRF: 430kHz/1000W [Chamber C] Process: P-TEOS Hard: CVD Gas(sccm): Ar(7000), Ar(500), He(2000), N2(5000), NF3(3000), O2(3000), TEOS(300) RPU: 400kHz/3000W HRF: 13.56MHz/1000W LRF: 430kHz/1000WOEMモデルの説明
The Eagle is a single-wafer processing product platform for PECVD applications. The Eagle 12 is for 300mm wafers.ドキュメント
ASM
EAGLE 12
検証済み
カテゴリ
PECVD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
35068
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2003
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
同様のリスト
すべて表示
ASM
EAGLE 12
カテゴリ
PECVD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
35068
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2003
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available