説明
CVD Tool Info. Voltage: 208VAC/ Phase: 3P/ Current: 250A/ Frequency: 60Hz Status: Storing at our facility(under temp & humid control) [Chamber A, B, C ] Process: PECVD Gas Config Maker: Aera FC 786C/ Unit:SLM Ar(7), NF3(3), N2O(1), N2O(5), He(4), PN2(6), SiH4(0.6), NH3(3) RPC : MKS_AX7657 11 (2L) HF Generator: AD TEC_AX 1000III LF Generator: AD TEC_AX 1000LFIII構成
CVDOEMモデルの説明
The Eagle is a single-wafer processing product platform for PECVD applications. The Eagle 12 is for 300mm wafers.ドキュメント
ドキュメントなし
ASM
EAGLE 12
検証済み
カテゴリ
PECVD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
49088
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2004
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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EAGLE 12
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PECVD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
49088
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2004
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説明
CVD Tool Info. Voltage: 208VAC/ Phase: 3P/ Current: 250A/ Frequency: 60Hz Status: Storing at our facility(under temp & humid control) [Chamber A, B, C ] Process: PECVD Gas Config Maker: Aera FC 786C/ Unit:SLM Ar(7), NF3(3), N2O(1), N2O(5), He(4), PN2(6), SiH4(0.6), NH3(3) RPC : MKS_AX7657 11 (2L) HF Generator: AD TEC_AX 1000III LF Generator: AD TEC_AX 1000LFIII構成
CVDOEMモデルの説明
The Eagle is a single-wafer processing product platform for PECVD applications. The Eagle 12 is for 300mm wafers.ドキュメント
ドキュメントなし