説明
PECVD構成
[Chamber A] Process: P-TEOS/TMP Hard: CVD Gas(sccm): Ar(7000), Ar(500), He(2000), N2(5000), NF3(3000), O2(3000), TEOS(300), TMP(60) RPU: 400kHz/3000W HRF: 13.56MHz/1000W LRF: 430kHz/1000W [Chamber B] Process: P-TEOS/TMP Hard: CVD Gas(sccm): Ar(7000), Ar(500), He(2000), N2(5000), NF3(3000), O2(3000), TEOS(300), TMP(60) RPU: 400kHz/3000W HRF: 13.56MHz/1000W LRF: 430kHz/1000W [Chamber C] Process: P-TEOS/TMP Hard: CVD Gas(sccm): Ar(7000), Ar(500), He(2000), N2(5000), NF3(3000), O2(3000), TEOS(300), TMP(60) RPU: 400kHz/3000W HRF: 13.56MHz/1000W LRF: 430kHz/1000WOEMモデルの説明
The Eagle is a single-wafer processing product platform for PECVD applications. The Eagle 12 is for 300mm wafers.ドキュメント
ASM
EAGLE 12
検証済み
カテゴリ
PECVD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
35057
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2013
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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EAGLE 12
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PECVD
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
35057
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2013
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Available
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Available
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Available
Refurbishment Services
Available