説明
AlCu & Ti sputter deposition cluster tool構成
Platform: Brooks MX800 Process capability: AlCu / Ti (HIS-Modul) / degas / soft etch Peripherals: (Qty 2) Edwards L70 (Qty 2) Brooks CTI 9600 Upgraded from 6” to 8” in 2008 HIS-Module upgrade in 2021, incl. Artic chiller (-20 °C) I/O boards upgraded in 2021 Software upgraded in 2021 Turbo pumps replaced on loadlocks in 2021 Documentation available (incl. upgrade features)OEMモデルの説明
提供なしドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
PVD / Sputtering
最終検証： 2日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
154591
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2001
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2001
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
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説明
AlCu & Ti sputter deposition cluster tool構成
Platform: Brooks MX800 Process capability: AlCu / Ti (HIS-Modul) / degas / soft etch Peripherals: (Qty 2) Edwards L70 (Qty 2) Brooks CTI 9600 Upgraded from 6” to 8” in 2008 HIS-Module upgrade in 2021, incl. Artic chiller (-20 °C) I/O boards upgraded in 2021 Software upgraded in 2021 Turbo pumps replaced on loadlocks in 2021 Documentation available (incl. upgrade features)OEMモデルの説明
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