説明
i-Line Stepper構成
構成なしOEMモデルの説明
Designed for mass production at 0.4 µm and achieves extremely high throughout while maintaining versatility with its variable Numerical Aperture (NA). This stepper extends i-line’s capability for manufacturing multiple generations of subhalf-micron design rules by optimizing both depth of focus and resolution for critical process layers. NA:0.60ドキュメント
ドキュメントなし
ASML
PAS 5500/100D
検証済み
カテゴリ
Steppers & Scanners
最終検証： 16日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
113712
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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不明
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Designed for mass production at 0.4 µm and achieves extremely high throughout while maintaining versatility with its variable Numerical Aperture (NA). This stepper extends i-line’s capability for manufacturing multiple generations of subhalf-micron design rules by optimizing both depth of focus and resolution for critical process layers. NA:0.60ドキュメント
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