説明
12 CHAMBER AQUASPIN Hardware (Fab) : System Type Description Quantity Status Handler System KAWASAKI 1 OK Factory Interface FOUP 4 OK Options System none 1 OK Others na 1 OK Hardware (Subfab / Auxilliary Units) : Description Qty Status NanoA cabinet 1 OK Missing/Faulty Parts / Accesorries List : Description Qty None 1構成
Process: dHF-SC1-SC2OEMモデルの説明
The AQUASPIN SU-3200 single wafer cleaning system is able to spray chemical to achieve individual wafer cleaning.ドキュメント
SCREEN / DNS / DAINIPPON SCREEN
SU-3200
検証済み
カテゴリ
Wet Benches - Auto
最終検証： 6日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
116586
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2012
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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不明
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ウェーハサイズ：
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