説明
Electron microscope構成
FOUP Factory Interface ETU Handler Main System Process: CDSEM Software Version: 14.3.0 CIM: SECS/GEMOEMモデルの説明
Introduced in fiscal 2002, the NanoSEM 3D system extends CD-SEM technology beyond the measurement of critical dimensions to enable the three-dimensional imaging of chip features to more precisely control their lithography and etch processes.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
CD-SEM
最終検証： 5日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
154789
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2004
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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APPLIED MATERIALS (AMAT)
NANOSEM 3D
カテゴリ
CD-SEM
最終検証： 5日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
154789
ウェーハサイズ：
12"/300mm
ヴィンテージ：
2004
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
Electron microscope構成
FOUP Factory Interface ETU Handler Main System Process: CDSEM Software Version: 14.3.0 CIM: SECS/GEMOEMモデルの説明
Introduced in fiscal 2002, the NanoSEM 3D system extends CD-SEM technology beyond the measurement of critical dimensions to enable the three-dimensional imaging of chip features to more precisely control their lithography and etch processes.ドキュメント
ドキュメントなし