説明
説明なし構成
Dual FIMS Handler onlyOEMモデルの説明
The Surfscan SP1DLS is an unpatterned wafer inspection system that detects defects down to 50nm and provides complete defectivity and haze information in a single scan. It uses dual-laser illumination and has an optional Backside Inspection Module. It supports 200mm and 300mm wafer sizes and meets 300mm factory automation requirements.ドキュメント
ドキュメントなし
KLA
SP1 DLS
検証済み
カテゴリ
Defect Inspection
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Parts Tool
稼働ステータス:
不明
製品ID：
69099
ウェーハサイズ：
不明
ヴィンテージ：
不明
Have Additional Questions?
Logistics Support
Available
Money Back Guarantee
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
KLA
SP1 DLS
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Defect Inspection
最終検証： 60日以上前
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不明
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Dual FIMS Handler onlyOEMモデルの説明
The Surfscan SP1DLS is an unpatterned wafer inspection system that detects defects down to 50nm and provides complete defectivity and haze information in a single scan. It uses dual-laser illumination and has an optional Backside Inspection Module. It supports 200mm and 300mm wafer sizes and meets 300mm factory automation requirements.ドキュメント
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