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The KLA-Tencor 5200XP is an automated overlay metrology tool for the semiconductor industry. It improves overlay control, maximizes lithography tool utilization, and meets the requirements of 0.18 µm design rules. It has the highest throughput in the industry and is compatible with current factory automation standards.ドキュメント
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KLA
5200XP
カテゴリ
Overlay
最終検証： 60日以上前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
130520
ウェーハサイズ：
6"/150mm
ヴィンテージ：
不明
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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The KLA-Tencor 5200XP is an automated overlay metrology tool for the semiconductor industry. It improves overlay control, maximizes lithography tool utilization, and meets the requirements of 0.18 µm design rules. It has the highest throughput in the industry and is compatible with current factory automation standards.ドキュメント
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