説明
RTP BPSG - AST SUPER HEAT SYSTEM構成
構成なしOEMモデルの説明
The 2800 RTP system is the STEAG Semiconductor Division's workhorse for mainstream applications. Over 500 have been installed worldwide. Applications include silicide/barrier formation, BPSG reflow and densification, shallow junction formation, thin gate dielectrics, thermal donor annihilation and multilayer annealing.ドキュメント
ドキュメントなし
カテゴリ
RTP/RTA
最終検証： 16日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
143286
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2000
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
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MATTSON / STEAG / AST
2800
カテゴリ
RTP/RTA
最終検証： 16日前
主なアイテムの詳細
状態：
Used
稼働ステータス:
不明
製品ID：
143286
ウェーハサイズ：
8"/200mm
ヴィンテージ：
2000
Logistics Support
Available
Transaction Insured by Moov
Available
Refurbishment Services
Available
説明
RTP BPSG - AST SUPER HEAT SYSTEM構成
構成なしOEMモデルの説明
The 2800 RTP system is the STEAG Semiconductor Division's workhorse for mainstream applications. Over 500 have been installed worldwide. Applications include silicide/barrier formation, BPSG reflow and densification, shallow junction formation, thin gate dielectrics, thermal donor annihilation and multilayer annealing.ドキュメント
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